型號 |
PM100 |
等離子發(fā)生源 |
低頻高電壓電源,輸出約100W,周波數(shù)60KHz、輸出電壓10kV |
電機構(gòu)造 |
電容型 2分割 |
氣體流量計 |
氧氣用、流量30~300mL/min |
真空調(diào)整閥門 |
抽真空用,回大氣用 |
反應(yīng)腔尺寸 |
內(nèi)徑100mm×深度最大約200mm |
外形尺寸(寬×深×高mm) |
310×300×448 |
電源 50/60Hz |
AC100V 10A(含真空泵Max7A) |
真空泵接口 |
外徑Φ6.35mm(推薦真空泵排氣速度30L/min) |
氣體接口 |
外徑Φ6.35m |
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