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等離子清洗機(jī) PDC200/210/510

發(fā)布時(shí)間:2020-02-21 17:09:16瀏覽次數(shù):

PDC200/210/510等離子清洗機(jī)

高頻輸出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),電極尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。 

使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對(duì)應(yīng)多種用途。 

用途 

?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗

?去除有機(jī)膜和金屬氧化膜

?印刷電路基板的干式清洗

?界面活性處理

?LED封裝 

特征

?DP模式(PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配)

?RIE模式

?均勻性高的電極構(gòu)造

?操作簡單的觸摸屏控制器 
 

規(guī)格 

型號(hào)

PDC200

PDC210

PDC510

等離子模式

RIE(DP模式選配)

RIE/DP

電極構(gòu)造

平行平板(固定)

高頻輸出

Max300W

Max500W

頻率

13.56MHz

控制·顯示

液晶觸摸屏

反應(yīng)室尺寸

W400×D250×H150mm

W500×D300×H200mm

電極尺寸

W250×D170mm

W400×D200mm

反應(yīng)室材質(zhì)

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)(Ar、O2)

填充氣體

N2或干燥空氣

反應(yīng)氣體流量控制

流量計(jì)

聚合控制器

真空泵

另行選配

油泵(約345L/分)標(biāo)配

油泵(約500L/分)標(biāo)配

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)

外形尺寸

W540×D600×H600mm

W540×D600×H600mm

W700×D700×H1285mm

重量

約100kg

約105kg

約180kg

電源

單相 AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

 

 

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