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等離子灰化機(jī) PR500/510

發(fā)布時間：2020-02-22 19:08:02瀏覽次數(shù)：次

·PR500/510等離子灰化機(jī)

高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經(jīng)典桶型。 

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途 

·去除光刻膠

·部品清洗

·界面活性處理

·微研磨

·硅晶圓，玻璃基板對應(yīng) 

特征 

·大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔

·小型一體化設(shè)計(jì)

·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型） 
 

規(guī)格 

型號

PR500

PR510

模式

DP模式，桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調(diào)方式

自動協(xié)調(diào)

反應(yīng)部

反應(yīng)腔

石英 Φ215×305mm

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)（O2／CF4）

控制

手動

觸摸屏自動控制

配管材質(zhì)

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規(guī)格書

重量

約60kg

參照規(guī)格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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