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等離子清洗機 YSP600U/2KU

發(fā)布時間：2020-02-21 12:51:04瀏覽次數(shù)：次
樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合
用途
●  提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●  清洗各類基板。
●  電子部品、材料表面改質(zhì)。
●  去除有機物和自然氧化膜。

特點
●  體積小，節(jié)省空間。
●  選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
●  更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
●  可通過操作面板自由切換等離子模式。
●  配備冷卻反應(yīng)臺。

內(nèi)槽


技術(shù)規(guī)格

型號

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

2000W

反應(yīng)臺尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應(yīng)氣體

2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個


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