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球差校正掃描透射電子顯微鏡HD-2700

發(fā)布時(shí)間：2020-01-06 16:45:55瀏覽次數(shù)：次
產(chǎn)品簡介
專用掃描透射顯微鏡HD-2700，配備了與德國CEOS GmbH公司（總經(jīng)理Max Haider先生）共同開發(fā)的球差校正儀，顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究。由于球差校正系統(tǒng)校正了限制電子顯微鏡的性能的球差，使其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。
最近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發(fā)射電子槍，進(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。
特點(diǎn)
 
高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像
HAADF-STEM圖像0.136nm，F(xiàn)FT圖像0.105nm（高分辨率鏡頭（*））
HAADF-STEM圖像0.144nm（標(biāo)準(zhǔn)鏡頭）
明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204nm（w/o球差校正儀）
高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍
元素面分布更迅速及時(shí)
低濃度元素檢測
操作簡化
自動(dòng)圖像對中功能
從樣品制備到觀察分析實(shí)現(xiàn)無縫連接
樣品桿與日立聚焦離子束系統(tǒng)兼容
配有各種選購件可執(zhí)行各種評(píng)估和分析操作
同時(shí)獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布（*） 和DF/EELS面分布（*）圖像。
低劑量功能（*）（使樣品的損傷和污染程度降至最低）
高精度放大校準(zhǔn)和測量（*）
實(shí)時(shí)衍射單元（*）（同時(shí)觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案）
采用三維微型柱旋轉(zhuǎn)樣品桿（360度旋轉(zhuǎn)）（*），具有自動(dòng)傾斜圖像獲取功能。
ELV-3000即時(shí)元素面分布系統(tǒng)（*）（同時(shí)獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像）
（*） 選購件
技術(shù)指標(biāo)
HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡
項(xiàng)目
描述
圖像分辨率

w/o球差校正儀

 保證 0.204nm（當(dāng)放大倍數(shù)為4,000,000時(shí)）
w球差校正儀 保證 0.144 nm（當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí)）（標(biāo)準(zhǔn)鏡頭）
保證 0.136nm（HAADF圖像）
保證0.105 nm（通過FFT）（當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí)）（高分辨率鏡頭（*））
放大倍數(shù) 100倍 至 10,000,000倍
加速電壓 200 kV, 120 kV （*）
成像信號(hào) 明場掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像（TE圖像）
暗場掃描透射電子顯微鏡：原子序數(shù)襯度圖像（Z襯度圖像）
二次電子圖像（SE圖像）
電子衍射（*）
特征X射線分析和面分布（能譜分析）（*）
電子能量損失譜分析和面分布（EV3000）（*）
電子光學(xué)系統(tǒng) 電子源 肖特基發(fā)射電子源
冷場致發(fā)射器（*）
照明透鏡系統(tǒng) 2-段聚光鏡鏡頭
球差校正儀（*） 六極鏡頭設(shè)計(jì)
掃描線圈 2-段式電磁感應(yīng)線圈
原子序數(shù)襯度收集角控制 投影鏡設(shè)計(jì)
電磁圖像位移 ±1 μm
試片鏡臺(tái) 樣品移動(dòng) X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
樣品傾斜 單軸-傾斜樣品桿：±30°（標(biāo)準(zhǔn)鏡頭）, ±18°（高分辨率鏡頭（*））
真空系統(tǒng)   3個(gè)離子泵，1個(gè)TMP
極限真空 10-8 Pa（電子槍）, 10-5 Pa（樣品室）
圖像顯示 個(gè)人電腦／操作系統(tǒng) PC/AT兼容, Windows® XP
監(jiān)視器 19-inch液晶顯示器面板
圖像幀尺寸 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
掃描速度 快掃，慢掃（0.5至320秒／幀）
自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示 記錄序號(hào)，加速電壓，下標(biāo)尺，日期，時(shí)間
 

（*） 選購件

注：該儀器未取得中華人民共和國醫(yī)療器械注冊證，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途

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