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掃描電子顯微鏡S-3700N

發(fā)布時(shí)間:2020-01-07 10:54:00瀏覽次數(shù):
日立高新掃描電子顯微鏡S-3700N適合用于研究大件,較重,較高的樣品。
 
▲最大樣品直徑達(dá)300mm。
▲可觀察范圍直徑達(dá)203mm。
▲可對(duì)高達(dá)110mm的樣品進(jìn)行觀察和能譜分析。
▲通用型接口布局滿足各種分析用途。
 
特點(diǎn)

特大型的樣品室可裝載最大直徑達(dá)300 mm的樣品,還可同時(shí)安裝EDX/WDX/EBSD等配件。其可載樣品高度可達(dá)110 mm。
5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心傾斜、旋轉(zhuǎn)、圖像導(dǎo)航系統(tǒng)、樣品臺(tái)追蹤、軌跡存儲(chǔ)與中心復(fù)位等樣品臺(tái)的馬達(dá)控制功能一應(yīng)俱全。
S-4800,SU-70及S-3400N均具有用戶友好的GUI設(shè)計(jì),這使得操作者經(jīng)過簡單培訓(xùn)即可操作。
顯示系統(tǒng)有全屏顯示,無閃爍,高像素和實(shí)時(shí)圖像顯示等優(yōu)異的性能,它還可以實(shí)時(shí)信號(hào)混合并同時(shí)顯示兩個(gè)不同的檢測器觀測到的互不相同的樣品信息。
可變壓模式不需要金屬噴涂,可以直接觀察不導(dǎo)電樣品。
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器可以在快速掃描模式下運(yùn)行,這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡單和便利。
標(biāo)準(zhǔn)配備渦輪分子泵(TMP),其清潔和干燥的真空條件最大限度地減少了樣品污染。區(qū)別于傳統(tǒng)的擴(kuò)散泵掃描電子顯微鏡,此款產(chǎn)品不需較大的加熱功率或循環(huán)水箱,從而使得它成為一款節(jié)能,生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。

規(guī)格
項(xiàng)目 描述
分辨率 二次電子分辨率

30kV時(shí),3.0nm(高真空模式)

3kV時(shí),10nm(高真空模式)

背散射電子分辨率 30kV時(shí),340nm(低真空模式)
放大倍率 ×5-×300,000
加速電壓 0.3-30KV
低真空范圍 6-270pa圖形菜單
圖像移動(dòng) ±50μm(WD=10mm)
最大樣品尺寸 Ф300mm
樣品臺(tái) X 150mm
Y 110mm
Z 5-65mm
R 360°
T -20°-90°
觀測區(qū)域 Ф203mm(可旋轉(zhuǎn))
最大高度 110mm(WD=10mm)
樣品臺(tái)控制 計(jì)算機(jī)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心
電子光學(xué) 電子槍 預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光闌 可移動(dòng)式4孔物鏡光闌
槍偏壓 帶可控4偏壓
檢測器

埃弗哈特 索恩利二次電子檢測器

高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測器,五分割

分析位置 WD=10mm 取出角=35°
顯示器 自動(dòng)合軸 自動(dòng)設(shè)定束流,自動(dòng)合軸
自動(dòng)圖像調(diào)整 自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散/聚焦,自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度
存儲(chǔ)圖像精度 640×480像素,1280×960像素,2560×1920像素,5120×3840像素
圖像文件格式 BMP,TIFF,JPEG
圖像顯示模式

全屏顯示1280×960像素,小屏顯示640×480像素,

雙屏顯示640×480像素×2,信號(hào)混合模式

真空系統(tǒng) 操作 全自動(dòng)程序
渦輪分子泵 210L/sec.×1
機(jī)械泵 135L/min.(162L/min.60Hz)×1
安全措施 斷電保護(hù),漏電保護(hù)
輔助功能 光柵旋轉(zhuǎn),動(dòng)態(tài)消像散
動(dòng)態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償功能
自由排版打印功能,字母/數(shù)字功能
三維動(dòng)畫維修指南
導(dǎo)航,測量方便,傾斜畫面

注:該儀器未取得中華人民共和國醫(yī)療器械注冊(cè)證,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途

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