項(xiàng)目 | 描述 | |
分辨率 | 二次電子分辨率 |
30kV時(shí),3.0nm(高真空模式) 3kV時(shí),10nm(高真空模式) |
背散射電子分辨率 | 30kV時(shí),340nm(低真空模式) | |
放大倍率 | ×5-×300,000 | |
加速電壓 | 0.3-30KV | |
低真空范圍 | 6-270pa圖形菜單 | |
圖像移動(dòng) | ±50μm(WD=10mm) | |
最大樣品尺寸 | Ф300mm | |
樣品臺(tái) | X | 150mm |
Y | 110mm | |
Z | 5-65mm | |
R | 360° | |
T | -20°-90° | |
觀測區(qū)域 | Ф203mm(可旋轉(zhuǎn)) | |
最大高度 | 110mm(WD=10mm) | |
樣品臺(tái)控制 | 計(jì)算機(jī)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心 | |
電子光學(xué) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光闌 | |
槍偏壓 | 帶可控4偏壓 | |
檢測器 |
埃弗哈特 索恩利二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測器,五分割 |
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分析位置 | WD=10mm 取出角=35° | |
顯示器 | 自動(dòng)合軸 | 自動(dòng)設(shè)定束流,自動(dòng)合軸 |
自動(dòng)圖像調(diào)整 | 自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散/聚焦,自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度 | |
存儲(chǔ)圖像精度 | 640×480像素,1280×960像素,2560×1920像素,5120×3840像素 | |
圖像文件格式 | BMP,TIFF,JPEG | |
圖像顯示模式 |
全屏顯示1280×960像素,小屏顯示640×480像素, 雙屏顯示640×480像素×2,信號(hào)混合模式 |
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真空系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)程序 |
渦輪分子泵 | 210L/sec.×1 | |
機(jī)械泵 | 135L/min.(162L/min.60Hz)×1 | |
安全措施 | 斷電保護(hù),漏電保護(hù) | |
輔助功能 | 光柵旋轉(zhuǎn),動(dòng)態(tài)消像散 | |
動(dòng)態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償功能 | ||
自由排版打印功能,字母/數(shù)字功能 | ||
三維動(dòng)畫維修指南 | ||
導(dǎo)航,測量方便,傾斜畫面 |
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